光刻设备“合肥造”迈上新台阶

2月18日从海恒集团获悉，海恒集团园区企业自主研发的国产12吋前道先进工艺涂胶机顺利启运出厂，意味着光刻设备领域“合肥造”迈上了一个新台阶。

近日，海恒集团园区企业合肥开悦半导体有限公司自主研发的国产12吋前道先进工艺涂胶机顺利启运出厂。开悦半导体主要提供半导体前道工艺以及后道先进封装产线所使用的国产涂胶显影机、高速物理清洗机，同时也覆盖芯片制造所需光刻领域设备的翻新、再制造业务。

合肥开悦半导体有限公司成立于2016年，致力于设计与制造中国集成电路国产设备，并为客户提供先进的集成电路制造工艺解决方案。目前，公司总部位于安徽合肥，并在新加坡、上海、日本设有子公司，廊坊设有分公司。

本次开悦半导体自主研发的国产12吋前道先进工艺涂胶机作为光刻设备领域不可或缺的关键设备，其顺利出厂标志着企业在先进半导体制造设备领域迈出了坚实的一步，开悦的全新国产制造又迈上了一个新台阶，也意味着光刻设备领域“合肥造”实力在不断升级提高。

开悦半导体主营业务是为集成电路制造厂商提供光刻用设备，2020年公司搬迁至合肥并着手开发国产涂胶显影机。得益于落户新桥科创示范区后靠近下游服务商，开悦半导体能够随时把新产品拿到客户工厂进行测试，再根据客户需求进行参数调整，大大提升了产品的研发效率。

据了解，作为半导体行业的上游企业，开悦半导体搬迁到合肥之后，营业额逐年上升，合肥的软件、电控以及各项配套设施都能助力其稳定发展。在安徽经济社会加速转型升级中，未来合肥开悦也将凭借技术创新，贡献更多产业力量。