上海启元气体半导体先进制程电子特气国产化项目落地合肥

近日，合肥市肥东县政府与上海启元气体正式签署半导体先进制程电子特气国产化项目投资合作协议。

上海启元气体将依托韩系技术资源及支持，计划在位于合肥市肥东县的合肥循环经济示范园内建设国内高标准的半导体先进制程电子特气生产基地。

项目占地面积约70亩，建成达产后，预计实现年营收不低于10亿元，年税收不低于6000万元。该项目的落地，将加快推动国际半导体先进制程电子特气材料国产化进程，部分产品填补国内空白，将极大增强国内半导体先进制程所需电子特气的本土供应能力。

上海启元气体发展有限公司成立于2009年8月，主要从事电子特气、电子气体设备制造及大宗气体供气的研发、生产及销售业务。曾打造国内首台套氪氙和氖氦稀有气体精炼设备，并荣获上海市科技进步三等奖。

公司主要高纯电子特气产品已服务于全球一流半导体企业，是国内较早通过韩国三星、SK海力士认证的企业。上海启元气体于2021年获得韩国TEMC战略投资，TEMC是韩国著名的电子材料上市公司，是三星、SK海力士的核心电子特气供应商。

电子气体在电子产品制程工艺中广泛用于离子注入、刻蚀、气相沉积、掺杂等工艺，电子半导体器件的性能优劣与电子气体的纯度和质量息息相关。该生产基地建成后，将承担半导体先进制程所需电子特气材料的研发、生产、分析及仓储中心等功能，满足国内本土终端在先进制程工艺升级中对新材料的需求，实现半导体材料供应链自主可控的目标。

近年来，合肥市围绕“合肥芯”“合肥产”“合肥用”全链条，加快推进集成电路产业发展，倾力打造“中国IC之都”，构建了设计、制造、封装测试、核心工具、装备材料及终端应用较为完整的产业链，本项目的落地，将在先进制程电子特气材料关键环节实现补链强链，在提升产业链稳定性和竞争力方面具有重大意义。