合肥欣奕华研制交付国内首台硅基蒸镀机，登上央视新闻直播

作为安徽技术创新的代表之一，位于新站高新区的合肥欣奕华，OLED蒸镀机登上央视新闻《江河奔腾看中国》直播，展现技术“硬”实力。

作为OLED显示器件制备环节的核心设备，蒸镀机可将有机发光材料精准、均匀、可控地蒸镀到基板上，是保障高精细度显示产品顺利量产的核心要素。作为智能制造解决方案提供商，合肥欣奕华凭借多年研发设计经验，攻克了OLED蒸镀机膜厚均一性、稳定性和微米级高精密定位技术难题，成功研发OLED蒸镀机。（G1）OLED蒸镀机（可蒸镀基板尺寸200*200mm）的成功研发，带动了G2.5（可蒸镀基板尺寸370*470mm）OLED蒸镀机及G6H（可蒸镀基板尺寸925*1500mm）蒸镀机关键装置的相继问世。去年，合肥欣奕华研制交付国内首台硅基蒸镀机，是我国泛半导体领域核心工艺装备自主化道路上的又一里程碑。

高端装备方面，除蒸镀机外，合肥欣奕华还率先研制大尺寸Mini LED巨量转移设备、完成AMHS Demo开发并通过了客户技术规格验证；工业机器人方面，合肥欣奕华是国内首家解决大尺寸超薄易碎玻璃基板搬送难题的洁净搬运机器人生产企业；智慧工厂解决方案方面，合肥欣奕华已形成包括自动化解决方案、智能仓储解决方案、工业信息系统在内的智慧工厂整体解决方案，技术能力达到国际先进水平。

目前，合肥欣奕华已形成了完善的蒸镀机技术研发体系，持续为新型显示产品的“智造”工艺创新增添动力。